[实用新型]一种真空飞行管道的软X射线成像装置有效

专利信息
申请号: 201721189153.0 申请日: 2017-09-15
公开(公告)号: CN207181327U 公开(公告)日: 2018-04-03
发明(设计)人: 易涛 申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心
主分类号: G01N23/04 分类号: G01N23/04
代理公司: 北京理工大学专利中心11120 代理人: 郭德忠,仇蕾安
地址: 621054*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种真空飞行管道的软X射线成像装置,属于X射线成像技术领域,它包括X射线管、样品台、真空飞行管道及X射线相机;所述真空飞行管道的两相对端面加工有同轴通孔,通过在两个所述通孔上分别安装入射铍窗和出射铍窗将其封闭,真空飞行管道内部为真空状态;真空飞行管道位于X射线管和X射线相机之间,用于固定样品的样品台位于X射线管和真空飞行管道之间,且真空飞行管道的入射铍窗与样品台紧贴,出射铍窗与X射线相机的记录面紧贴;X射线管的X射线发射源点、样品的中心、入射铍窗和出射铍窗的中心及X射线相机的记录面中心位于同一条直线上;该装置能够对大气环境下的样品进行软X射线成像。
搜索关键词: 一种 真空 飞行 管道 射线 成像 装置
【主权项】:
一种真空飞行管道的软X射线成像装置,其特征在于,包括:X射线管(1)、样品台(2)、真空飞行管道(3)及X射线相机(4);所述X射线管(1)用于通过内部的X射线发射源点(5)向外发射软X射线;所述真空飞行管道(3)的两相对端面加工有能够使软X射线通过的同轴通孔,通过在两个所述通孔上分别安装入射铍窗(7)和出射铍窗(8)将其封闭,真空飞行管道(3)内部为真空状态;整体连接关系如下:真空飞行管道(3)位于X射线管(1)和X射线相机(4)之间,用于固定样品(9)的样品台(2)位于X射线管(1)和真空飞行管道(3)之间,且真空飞行管道(3)的入射铍窗与样品台(2)紧贴,出射铍窗(8)与X射线相机(4)的记录面紧贴;X射线管(1)的X射线发射源点(5)、样品(9)的中心、入射铍窗(7)和出射铍窗(8)的中心及X射线相机(4)的记录面中心位于同一条直线上。
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