[实用新型]一种低雾度红外截止滤光片

摘要

本实用新型公开了一种低雾度红外截止滤光片，所述低雾度红外截止滤光片包括基板和设于所述基板表面的复合膜层，所述基板为玻璃基板，所述复合膜层通过交替叠合的高折射率材料层和低折射率材料层制成，通过选取形状规整的玻璃基板，采用超声波、离心甩干机、离子源分别对玻璃基板进行清洗、烘干及清扫后开始镀膜，镀膜时采用电子束加热蒸发，在膜层沉积过程离子束不断轰击辅助镀膜，该膜层在停止沉积时，关闭离子源挡板，此时会有特定能量的离子束继续轰击膜层，直到下一膜层开始沉积。与现有技术相比，本实用新型方法简单，科学合理，可以有效解决红外截止滤光片型变量大及发雾问题。

主权项

一种低雾度红外截止滤光片，其特征在于：包括基板和设于所述基板表面的复合膜层，所述基板为玻璃基板，所述复合膜层通过交替叠合的高折射率材料层和低折射率材料层制成，所述高折射率材料层为二氧化钛、五氧化三钛、五氧化二钽或五氧化二铌材料层，所述低折射率材料层为二氧化硅、三氧化二铝或氟化镁材料层。