[实用新型]一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置

摘要

本实用新型属于单晶硅棒自动检测领域，具体涉及一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置。本实用新型提供一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置，包括支撑架，对中及斜度测量组件，长度测量组件；对中及斜度测量组件将单晶硅棒移动到该装置宽度位置中心，对中的同时利用倾角传感器测量出单晶硅圆棒端面的斜度，再由长度测量组件通过激光对射测出晶棒的长度；本实用新型可以实现直径长度80mm～800mm单晶硅圆棒的长度和斜度测量。本实用新型通过自动测量的方式代替了传统人工检测，解决了目前人工检测工作效率低、劳动强度大、存在安全隐患等问题。

主权项

一种用于单晶硅棒自动检测线长度及斜度测量的装置，其特征在于：包括支撑架(1)和对中及斜度测量组件，所述的对中及斜度测量组件包括水平导轨座(5)，丝杆电机(6)，丝杆(11)，手爪(12)，手爪滑块安装座(9)，倾角传感器(13)，水平电机座(7)；所述的支撑架(1)上固定连接水平导轨座(5)，所述水平导轨座(5)下方两侧分别固定有导轨(10)和水平电机座(7)，该水平电机座(7)上安装有丝杆电机(6)；所述导轨(10)两端分别装有与之相配合的滑块(8)，与滑块(8)固定连接的手爪滑块安装座(9)和与手爪滑块安装座(9)固定连接的手爪(12)，所述手爪(12)为上下可调机构，手爪(12)上装有倾角传感器(13)，该倾角传感器(13)用于在手爪(12)的带动下贴合待测量的晶棒端面；所述丝杆电机(6)通过丝杆(11)分别与导轨(10)两端的手爪滑块安装座(9)连接，所述手爪滑块安装座(9)之间的丝杆(11)上设有联轴器(14)，该联轴器(14)用于使其两侧的丝杆(11)旋转方向相反。