[实用新型]一种带扩散板的空气过滤装置

摘要

本实用新型提供一种带扩散板的空气过滤装置，涉及空气过滤领域。带扩散板的空气过滤装置包括第一单向阀、过滤器、第二单向阀、加湿器以及导管。过滤器包括第一容器以及设置在第一容器内的铁粉和扩散板，扩散板对应第一容器的进气口，加湿器包括第二容器以及安装在第二容器上的进气管和出气管，第二容器内装有水。第一单向阀的进口用于与空气气源连通，第一单向阀的出口连接在第一容器的进气口，第二单向阀的进口连接在第一容器的出气口，第二单向阀的出口通过导管连接在加湿器的进气管上，加湿器的出气管用于排除空气。带扩散板的空气过滤装置能够有效滤出空气的氧气，避免空气与硅烷混合后使硅烷氧化，从而避免硅烷不会在设备的通道中凝结。

主权项

一种带扩散板的空气过滤装置，其特征在于，所述带扩散板的空气过滤装置包括第一单向阀、过滤器、第二单向阀、加湿器以及导管；所述过滤器包括第一容器以及设置在所述第一容器内的铁粉，所述第一容器包括第一底壁、第一侧壁、第二侧壁、扩散板和连接筋，所述第一底壁上开设有进气口，所述第一侧壁和所述第二侧壁均为环形，所述第一侧壁的下端连接在所述第一底壁的边缘上，所述第一侧壁的上端连接在所述第二侧壁的下端，所述第二侧壁的上端形成出气口；所述扩散板通过所述连接筋连接在所述第一侧壁上，所述扩散板对应所述第一容器的进气口，所述扩散板朝向所述第一容器的进气口的一侧为凹型面；所述加湿器包括第二容器以及安装在所述第二容器上的进气管和出气管，所述第二容器内装有水；所述第一单向阀的进口用于与空气气源连通，所述第一单向阀的出口连接在所述第一容器的进气口，所述第二单向阀的进口连接在所述第一容器的出气口，所述第二单向阀的出口通过所述导管连接在所述加湿器的所述进气管上，所述加湿器的所述出气管用于排除空气。