[实用新型]硅芯包装装置及系统有效
申请号: | 201720924529.1 | 申请日: | 2017-07-27 |
公开(公告)号: | CN206921797U | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 张孝山;汪成洋;陈斌;李有正;李长龙;镡菊英 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)11371 | 代理人: | 金相允 |
地址: | 810007 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型涉及多晶硅生产领域,旨在解决现有技术中人工装袋,造成硅芯的污染,装袋的效率较低以及影响硅芯的品质的问题,提供一种硅芯包装装置及系统。本实用新型提供的硅芯包装装置,将包装薄膜铺设在容纳槽上方,将硅芯放置在铺有包装薄膜的容纳槽上方,硅芯及包装薄膜将落入容纳槽内,控制装置驱使第一模板以及第二模板相互靠近,使第一中封加热装置与其相对应的第二中封加热装置接触,使第一端封加热装置与第二端封加热装置接触,完成硅芯的封装。该硅芯包装装置具备有便于包装,操作简单,提高封装的工作效率的有益效果。本实用新型的提供的硅芯包装系统由于包括上述的硅芯包装装置,因此也具备有提高封装的工作效率的有益效果。 | ||
搜索关键词: | 包装 装置 系统 | ||
【主权项】:
一种硅芯包装装置,其特征在于,包括:支撑平台,第一模板,所述第一模板具备第一中封加热装置以及第一端封加热装置,所述第一模板的端部与所述支撑平台可滑动地连接;第二模板,所述第二模板具备与所述第一中封加热装置相配合的第二中封加热装置,以及与所述第一端封加热装置相配合的第二端封加热装置;所述第二模板与所述支撑平台可滑动地连接;控制装置,所述第一模板以及第二模板均与所述控制装置电连接,使所述第一模板与所述第二模板相互靠近或远离;其中,所述第一模板、所述第二模板以及所述支撑平台形成容纳槽。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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