[实用新型]一种硅片上下料的缓存机构有效
申请号: | 201720834247.2 | 申请日: | 2017-07-10 |
公开(公告)号: | CN206970714U | 公开(公告)日: | 2018-02-06 |
发明(设计)人: | 王俊朝;李军阳;李学文;刘兵吉 | 申请(专利权)人: | 深圳丰盛装备股份有限公司 |
主分类号: | C23C16/458 | 分类号: | C23C16/458 |
代理公司: | 深圳市深科信知识产权代理事务所(普通合伙)44422 | 代理人: | 彭光荣 |
地址: | 518000 广东省深圳市南山区高*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种硅片上下料的缓存机构,涉及太阳能电池自动化设备技术领域;包括缓存盒、第一固定座、伸缩杆以及驱动装置;所述伸缩杆穿过于第一固定座,缓存盒固定在所述伸缩杆的顶端上,驱动装置用于驱动伸缩杆带动缓存盒往复运动;缓存盒包括第一横板、第一竖向板以及第二竖向板,伸缩杆的顶端固定在第一横板上;第一竖向板和第二竖向板的一端均垂直固定在第一横板上,且第一竖向板和第二竖向板相对的侧面上均设置有多个隔板,第一竖向板上相邻隔板的间隙与第二竖向板上相邻隔板的间隙之间用于插入硅片;本实用新型的有益效果是不会因为前后工序的暂时停止而影响整体设备的运行,提升了整机的运行效率,提高了设备的产能。 | ||
搜索关键词: | 一种 硅片 上下 缓存 机构 | ||
【主权项】:
一种硅片上下料的缓存机构,其特征在于:包括缓存盒、第一固定座、伸缩杆以及驱动装置;所述伸缩杆穿过于第一固定座,所述缓存盒固定在所述伸缩杆的顶端上,所述驱动装置用于驱动伸缩杆带动缓存盒往复运动;所述的缓存盒包括第一横板、第一竖向板以及第二竖向板,所述伸缩杆的顶端固定在第一横板上;所述第一竖向板和第二竖向板的一端均垂直固定在第一横板上,且第一竖向板和第二竖向板相对的侧面上均设置有多个隔板,第一竖向板上相邻隔板的间隙与第二竖向板上相邻隔板的间隙之间用于插入硅片。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的