[实用新型]硅烷气样品控制系统

摘要

本实用新型公开了一种硅烷气样品控制系统，包括采样系统，采样系统通过PLC控制系统连接操作电脑。本实用新型采用全密闭式，由PLC控制系统控制，PC来操作，降低人工直接采用样品操作的危险性，在采样的时候，用氮气吹扫，每次采样前需要吹扫、保压、置换、吹扫、保压、抽真空完成后再采集，去除管路中的氧气，防止管路中的氧气与硅烷气样品进行混合而产生危险。

主权项

一种硅烷气样品控制系统，包括采样系统，采样系统通过PLC控制系统连接操作电脑，采样系统包括样品进口，样品进口通过第一管路分别接通分析仪口，第一管路上按照样品进口至分析仪口的流向依次设有开关阀(MV‑1)、第二止回阀(CK‑2)、第一气动阀(XV‑1)、第一过滤器(F‑1)、第一减压阀(PR‑1)、第三止回阀(CK‑3)、第三气动阀(XV‑3)、第八气动阀(XV‑8)、第一流量计(FI‑1)、第二过滤器(F‑2)，第三气动阀(XV‑3)与第八气动阀(XV‑8)之间的第一管路上通过第二管路接通放空口，第二管路上设有安全阀(RV‑1)，第二管路后端与第八气动阀(XV‑8)之间连接有压力传感器(PT‑1)，第三气动阀(XV‑3)与第八气动阀(XV‑8)之间通过第三管路接通回收口，第三管路上按照与回收口之间的距离由远到近依次设有第七气动阀(XV‑7)、第二减压阀(PR‑2)、第二流量计(FI‑2)、第六止回阀(CK‑6)，其特征在于，所述的第一气动阀(XV‑1)与第一过滤器(F‑1)之间的第一管路通过第四管路接通第一氦气进口，第四管路上按照第一氦气进口至第一管路的流向依次设有第一止回阀(CK‑1)、第二气动阀(XV‑2)，第三气动阀(XV‑3)通过第五管路接通第二氦气进口，第五管路上按照第二氦气进口至第三气动阀(XV‑3)的流向依次设有第四止回阀(CK‑4)、第五气动阀(XV‑5)，第八气动阀(XV‑8)与第一流量计(FI‑1)之间的第一管路通过第六管路接通第二氦气进口，第六管路上按照第二氦气进口至第一管路的流向依次设有第五止回阀(CK‑5)、第九气动阀(XV‑9)，第一减压阀(PR‑1)与第三止回阀(CK‑3)之间的第一管路通过第七管路接通抽真空口，第七管路上按照抽真空口至第一管路的流向依次设有第六气动阀(XV‑6)、第四气动阀(XV‑4)，第二管路上第七气动阀(XV‑7)的前端通过第八管路接通第六气动阀(XV‑6)、第四气动阀(XV‑4)之间的第七管路。