[实用新型]一种氧化铝基体氧传感器芯片有效
| 申请号： | 201720720308.2 | 申请日： | 2017-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN206945602U | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 袁春;李纯钢 | 申请（专利权）人： | 深圳市铭特科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/409 | 分类号： | G01N27/409 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司44223 | 代理人： | 王震宇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氧化铝基体氧传感器芯片，包括由上至下层叠设置的外电极、氧化锆基体、内电极、氧化铝基体、加热器以及设置在所述氧化锆基体与所述氧化铝基体之间，位于所述内电极下方，用于输送参比空气的导气槽，所述导气槽为多孔骨架结构。多孔骨架结构不仅起到导流空气的作用，还与氧化铝基体、氧化锆基体的热膨胀系数形成有效过渡的匹配，提高两者的烧结与抗热效应能力，避免烧结引起结构上微裂纹，延长芯片的寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化铝 基体 传感器 芯片 | ||
【主权项】：
一种氧化铝基体氧传感器芯片，包括由上至下层叠设置的外电极、氧化锆基体、内电极、氧化铝基体、加热器，以及设置在所述氧化锆基体与所述氧化铝基体之间，位于所述内电极下方，用于输送参比空气的导气槽，在其特征在于,所述导气槽为多孔骨架结构。
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