[实用新型]一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构

摘要

本实用新型涉及单晶硅制备设备，旨在提供一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构。该种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构包括锁紧块、锁紧钩、传递套、气动件、控制元件，用于副炉室和隔离阀进行锁紧与松开。本实用新型既能使实现副炉室单独升降保持松开状态，也能使副炉室与隔离阀同步升降时保持锁紧状态，保证了副炉室和隔离阀同步升降时候的安全性。

主权项

一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构，用于副炉室和隔离阀进行锁紧与松开，其特征在于，所述用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构包括锁紧块、锁紧钩、传递套、气动件、控制元件；所述气动件的内部从上而下设有两个内腔，即上内腔和下内腔，上内腔和下内腔之间通过活塞间隔，活塞能够通过气压在腔内滑动，且上内腔和下内腔密封隔离，上内腔、下内腔还分别设有气管用于连接气泵；在下内腔一侧的活塞与连接杆的一端固定，连接杆的另一端穿出气动件的底部并安装有下端滑块；气动件的顶部安装有上端滑块；所述气动件外部套有传递套，并通过传递套固定在挂接板法兰上，即气动件能随着挂接板转动而周向运动，进而控制副炉室和隔离阀的锁紧与松开；所述锁紧块安装在副炉室上，锁紧块上有封闭的弧形槽口，气动件的上端滑块能安装在弧形槽口中并在弧形槽口中滑动；所述锁紧钩安装在隔离阀上，锁紧钩上有一个开口的滑槽，当挂接板处于副炉室和隔离阀分离状态时，气动件下端滑块未滑入锁紧钩的滑槽中，气动件中的活塞处于放松状态；当挂接板处于副炉室和隔离阀连接状态时，气动件的下端滑块能滑到滑槽中，气动件中的活塞处于压缩状态，气动件锁紧副炉室与隔离阀同时运动；所述控制元件采用压紧传感器，压紧传感器安装在气动件的下内腔中，当气动件的下端滑块滑入锁紧钩的滑槽中，气动件中的活塞处于压缩状态，压紧传感器能通过压紧放松来反馈信号，方便通过外部控制气泵使气动件中的活塞放松或者压缩，进而控制副炉室和隔离阀的松开或者锁紧。