[实用新型]一种双差动电容式力矩传感器有效
申请号: | 201720635056.3 | 申请日: | 2017-06-02 |
公开(公告)号: | CN207180915U | 公开(公告)日: | 2018-04-03 |
发明(设计)人: | 陈琳;莫超亮;潘海鸿 | 申请(专利权)人: | 广西安博特智能科技有限公司 |
主分类号: | G01L3/10 | 分类号: | G01L3/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 530007 广西壮族自治区南宁市西乡*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种双差动电容式力矩传感器,它由传感器外圈、若干变形梁、传感器内圈、电容动电极部分、过载保护部分、基板和电容静电极部分等构成。电容动电极部分和电容静电极部分组成了4个电容器,其中第一电容器与第三电容器关于x轴对称分布,构成差动结构一;第二电容器与第四电容器关于y轴对称分布,构成差动结构二;差动结构一与差动结构二之间呈正交分布,构成双差动式结构。通过双差动式结构可以有效提高力矩传感器的灵敏度和可靠性,减小线性误差,并能抵消横向力造成的干扰。将传感器力矩反馈信息应用于机器人控制中,能实现对机器人的精确力矩控制,提高机器人运转效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 差动 电容 力矩 传感器 | ||
【主权项】:
一种双差动电容式力矩传感器,其特征在于:它至少包括传感器外圈(1)、若干变形梁(2)、传感器内圈(3)、电容动电极部分(4)、过载保护部分(5)、基板(6)和电容静电极部分(7);所述电容动电极部分(4)至少包括第一动电极(4‑1)、第二动电极(4‑2)、第三动电极(4‑3)、第四动电极(4‑4);所述电容静电极部分(7)至少包括第一静电极(7‑1)、第二静电极(7‑2)、第三静电极(7‑3)、第四静电极(7‑4);所述电容动电极部分(4)和所述电容静电极部分(7)构成双差动式垂直电极型电容器(13)。
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