[实用新型]磁‑电‑热多参量耦合显微镜探针有效

专利信息
申请号: 201720613253.5 申请日: 2017-05-27
公开(公告)号: CN206848304U 公开(公告)日: 2018-01-05
发明(设计)人: 陈斌;王保敏;杨华礼;魏加峰;郭姗姗;李润伟 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: G01Q70/08 分类号: G01Q70/08;G01Q70/14;G01Q70/16;G01Q30/02
代理公司: 北京鸿元知识产权代理有限公司11327 代理人: 单英
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型提供了一种磁‑电‑热多参量耦合显微镜探针,包括探针臂,以及与探针臂相连的针尖本体,自探针臂与针尖本体表面向外,依次覆盖着热电偶层、导热绝缘层以及磁性导电层;热电偶层与外部电路构成热电回路;磁性导电层与样品、外部电路构成导电回路。该探针结构简单、制备难度低,能够原位微区探测磁电功能材料的磁信号、电信号和热信号,并且能够有效避免热电回路与电回路之间的信号干扰。
搜索关键词: 参量 耦合 显微镜 探针
【主权项】:
一种磁‑电‑热多参量耦合显微镜探针,包括探针臂,以及与探针臂相连的针尖本体,所述针尖本体的尖端用于与样品接触或者非接触,以测量样品信号;其特征是:自针尖本体表面向外,依次为热电偶层、导热绝缘层、磁性导电层;所述的热电偶层覆盖着针尖本体表面的区域A与区域B,针尖本体表面除了区域A与区域B之外的区域为剩余区域,区域A与区域B无重叠区域并且在针尖本体的尖端部位相连接;覆盖区域A的材料A,以及覆盖区域B的与材料A不同的材料B,与外部电路构成热电回路;所述的导热绝缘层覆盖着热电偶层以及针尖本体表面的剩余区域;所述的磁性导电层位于导热绝缘层表面,至少覆盖着针尖本体的尖端部位,与样品、外部电路构成导电回路。
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