[实用新型]驱动平台及包含其的真空操纵系统

摘要

本实用新型提供一种驱动平台及包含其的真空操纵系统。所述驱动平台包括第一躯干平台，设有第一滑块和第二导轨；中间躯干平台，设有第三滑块以及滑设于第二导轨的第二滑块；第二躯干平台，与中间躯干平台联动，且设有第三导轨，第三滑块滑设于第三导轨；第一滑块与第三滑块的移动方向平行，第二滑块的移动方向与第三滑块的移动方向形成有一夹角。所述真空操纵系统包括如上所述的驱动平台。本实用新型实现了被驱动物在真空腔中两个不同方向上的移动，同时，实现第一躯干平台带动中间躯干平台的移动不影响第二躯干平台的移动，以及第二躯干平台带动中间躯干平台的移动不影响第一躯干平台的移动；并且，本实用新型结构简单，节省成本。

主权项

一种驱动平台，其特征在于，所述驱动平台包括：第一躯干平台，所述第一躯干平台的一端设有第一滑块，所述第一滑块滑设于第一导轨，所述第一躯干平台的另一端设有第二导轨；中间躯干平台，所述中间躯干平台与所述第一躯干平台相对应的一端设有第二滑块，所述第二滑块滑设于所述第二导轨，所述中间躯干平台还设有第三滑块；第二躯干平台，所述第二躯干平台与所述中间躯干平台联动，所述第二躯干平台设有第三导轨，所述第三滑块滑设于所述第三导轨；其中，所述第一滑块与所述第三滑块的移动方向平行，所述第二滑块的移动方向与所述第三滑块的移动方向形成有一夹角。