[实用新型]硅片表面磨蚀装置有效
| 申请号： | 201720566143.8 | 申请日： | 2017-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN207087497U | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 朱胜利 | 申请（专利权）人： | 朱胜利 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/06 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司61211 | 代理人： | 陈广民 |
| 地址： | 710038 陕西省西安市灞桥区浐河*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型属于硅片表面处理技术领域，具体涉及一种硅片表面磨蚀装置。该装置包括用于固定等待处理的硅片的吸附架和位于吸附架上方的磨蚀架；磨蚀架包括磨蚀盘、固定架和驱动装置，磨蚀盘通过驱动装置安装于固定架上；磨蚀盘的下表面为磨蚀面，磨蚀盘的上表面设置有储液腔，储液腔通过注液管道与储存有磨蚀颗粒悬浮液的正压容器连通；磨蚀盘的磨蚀面上设置有多个送料槽以及与储液腔连通的通孔。本实用新型完全采用机械磨蚀对硅片表面进行处理，而不需要使用强腐蚀性的酸、碱等化学物质，安全环保，处理效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 表面 磨蚀 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片表面磨蚀装置，其特征在于：包括用于固定等待处理的硅片的吸附架和位于吸附架上方的磨蚀架；所述磨蚀架包括磨蚀盘、固定架和驱动装置，磨蚀盘通过驱动装置安装于固定架上；所述磨蚀盘的下表面为磨蚀面，磨蚀盘的上表面设置有储液腔，所述储液腔通过注液管道与储存有磨蚀颗粒悬浮液的正压容器连通；所述磨蚀盘的磨蚀面上设置有多个送料槽以及与储液腔连通的通孔。
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