[实用新型]一种电气可控的高效多晶硅还原炉有效
| 申请号： | 201720516530.0 | 申请日： | 2017-05-10 |
| 公开（公告）号： | CN207016494U | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 张华芹;程佳彪 | 申请（专利权）人： | 上海韵申新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙)31306 | 代理人： | 谢小军 |
| 地址： | 201612 上海市松江区漕河泾开发*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电气可控的高效多晶硅还原炉，包括底盘和炉体，炉体连接在底盘上且在炉体与底盘之间限定出反应器内腔，所述反应器内腔中设有多个电极，所述电极布置在所述底盘上的电极孔中，所述底盘上设有多个进气口和至少一个出气口，以所述多晶硅还原炉底盘中心为中心向外依次设有第1层～第n层同心圆，其中n≥4，每层同心圆上均匀分布有3*n对电极孔，最外层的同心圆上结合出气口设置至少3*(n‑1)对电极孔，每对电极孔硅芯实现搭接，同一层同心圆上的电极分为三组并与三相交流电源连接，所述三相交流电源至少有两组；在保证多晶硅质量的前提下，提高多晶硅产量，降低多晶硅的生产成本和能耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电气 可控 高效 多晶 还原 | ||
【主权项】：
一种电气可控的高效多晶硅还原炉，所述还原炉包括底盘和炉体，炉体连接在底盘上且在炉体与底盘之间限定出反应器内腔，其特征在于，所述反应器内腔中设有多个电极，所述电极布置在所述底盘上的电极孔中，所述底盘上设有多个进气口和至少一个出气口，以所述多晶硅还原炉底盘中心为中心向外依次设有第1层～第n层同心圆，其中n≥4，每层同心圆上均匀分布有3*n对电极孔，最外层的同心圆上结合出气口设置至少3*(n‑1)对电极孔，每对电极孔硅芯实现搭接，同一层同心圆上的电极分为三组并与三相交流电源连接，所述三相交流电源至少有两组。
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