[实用新型]一种晶元环尺寸可互换的自动固晶机

摘要

本实用新型提供了一种晶元环尺寸可互换的自动固晶机，包括基座；用于放置需要点胶及固晶的材料的载件机构，其固定在基座一端；用于在取胶工位的胶盘内取胶并在点胶位对所述载件机构（2）上的固晶位进行点胶的点胶机构，其设置在载件机构上方、基座后侧支撑部上；用于固定晶片膜及对晶片膜扩晶的扩晶环晶元工作台机构，其固定在基座另一端；用于拾取并固定晶片的取晶固晶机构；扩晶环晶元工作台机构的工作台平面与载件机构的工作台平面部分交互；顶针机构，用于顶起扩晶环晶元工作台机构上固定的晶片膜并将晶片膜进一步固定，固定在基座上、扩晶环晶元工作台机构下方。本实用新型固晶机能够不更改臂长、不增大机器尺寸满足8寸及12寸大尺寸晶圆材料。

主权项

一种晶元环尺寸可互换的自动固晶机，包括：基座（1）；用于放置需要点胶及固晶的材料的载件机构（2），其固定在基座一端；用于在取胶工位的胶盘内取胶并在点胶位对所述载件机构（2）上的固晶位进行点胶的点胶机构（3），其设置在载件机构（2）上方、基座后侧支撑部上；用于固定晶片膜及对晶片膜扩晶的扩晶环晶元工作台机构（4），其固定在基座另一端；用于从所述扩晶环晶元工作台机构（4）的晶片膜上拾取晶片，携带晶片旋转到达所述载件机构（2）上的固晶位，并将晶片固定在所述点胶位材料上的取晶固晶机构（6），其设置在扩晶环晶元工作台机构（4）上方、基座后侧支撑部上；其特征在于，还包括：用于顶起所述扩晶环晶元工作台机构（4）上固定的晶片膜并将晶片膜进一步固定的顶针机构（5），其固定在基座（1）上、扩晶环晶元工作台机构（4）下方；其中，扩晶环晶元工作台机构（4）的工作台平面与载件机构（2）的工作台平面部分交互。