[实用新型]适用于扩散炉的一体式外点火装置有效
| 申请号： | 201720287050.1 | 申请日： | 2017-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN206637655U | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 贾云波;吕伟;陈建标;顾军魏;王海东 | 申请（专利权）人： | 江阴新顺微电子有限公司 |
| 主分类号： | F23Q13/00 | 分类号： | F23Q13/00 |
| 代理公司： | 江阴市扬子专利代理事务所(普通合伙)32309 | 代理人： | 周彩钧 |
| 地址： | 214434 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，它包括石英泡、小炉体和注入器，所述石英泡的一侧设置有与石英管相连的S弯管，所述石英泡的腔体外围设有防爆罩，在所述防爆罩上开设有冷却水进水口、冷却水回水口和火焰传感器，所述S弯管的一端与石英泡之间设计成一体式结构，在石英泡的另一侧设置有直管，所述直管的一端穿过小炉体，所述注入器的一端插入直管并与石英泡的腔体贯通，所述直管的端部通过设置石英球头与注入器上的球碗连接，并且石英球头上开槽并装入O型圈。本实用新型有效的减少了工艺过程中气体泄露，增加了参数稳定性，提高了产品质量，适合工业化生产使用。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 扩散 体式 点火装置 | ||
【主权项】：
一种适用于扩散炉的一体式外点火装置，它包括石英泡（1）、小炉体（2）和注入器（3），所述石英泡（1）的一侧设置有与石英管（4）相连的S弯管（5），所述石英泡（1）的腔体外围设有防爆罩（7），在所述防爆罩（7）上开设有冷却水进水口（8）、冷却水回水口（9）和火焰传感器（10），其特征在于：所述S弯管（5）的一端与石英泡（1）之间设计成一体式结构，在石英泡（1）的另一侧设置有直管（6），所述直管（6）的一端穿过小炉体（2），所述注入器（3）的一端插入直管（6）并与石英泡（1）的腔体贯通，所述直管（6）的端部通过设置石英球头与注入器（3）上的球碗连接，并且石英球头上开槽并装入O型圈。
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