[实用新型]一种光掩模装片匣的支架有效

专利信息
申请号: 201720131760.5 申请日: 2017-02-14
公开(公告)号: CN206757295U 公开(公告)日: 2017-12-15
发明(设计)人: 李勇;成立炯;胡平 申请(专利权)人: 上海凸版光掩模有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙)31219 代理人: 罗泳文
地址: 200233 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型提供一种光掩模装片匣的支架,所述支架包括第一板材及第二板材,所述第一板材及第二板材呈60~120°夹角设置,所述第一板材与水平面的夹角为15~45°,所述第二板材与水平面的夹角为45~75°。本实用新型通过设计一个可以使光掩模装片匣倾斜放置的支架,通过倾斜的方式插入光掩模时,不容易造成光掩模胶面的划伤,并且可以避免手上或者衣袖上的灰尘落入光掩模表面的问题,大大提高了光掩模的质量。本实用新型的支架的采用特氟隆材料制成,可以达到不易变形不易产生碎屑及抗氧化的要求。
搜索关键词: 一种 光掩模装片匣 支架
【主权项】:
一种光掩模装片匣的支架,其特征在于,所述支架包括:第一板材及第二板材,所述第一板材及第二板材呈60~120°夹角设置,所述第一板材与水平面的夹角为15~45°,所述第二板材与水平面的夹角为45~75°。
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