[实用新型]一种表面等离激元增强型红外辐射器结构有效
申请号: | 201720126132.8 | 申请日: | 2017-02-13 |
公开(公告)号: | CN206654729U | 公开(公告)日: | 2017-11-21 |
发明(设计)人: | 张志东 | 申请(专利权)人: | 中北大学 |
主分类号: | B81B1/00 | 分类号: | B81B1/00 |
代理公司: | 太原科卫专利事务所(普通合伙)14100 | 代理人: | 朱源 |
地址: | 030051 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本实用新型属于光学领域和微纳系统领域,具体为一种表面等离激元增强型红外辐射器结构。一种表面等离激元增强型红外辐射器结构,包括ITO基片、在ITO基片上沉积的带有孔洞阵列结构的金属薄膜层、在孔洞中和金属薄膜层上沉积的电介质层以及在电介质层上制备的圆盘状金属阵列结构,底层的金属薄膜层、中层的电介质层和顶层的圆盘状金属阵列结构构成金属复合微纳结构。该结构简单,易于制作加工,其红外辐射光谱可以通过孔洞阵列结构的周期、形状、金属薄膜厚度、光的入射角度以及接触介质的介电性质等来调控。 | ||
搜索关键词: | 一种 表面 离激元 增强 红外 辐射器 结构 | ||
【主权项】:
一种表面等离激元增强型红外辐射器结构,其特征在于包括ITO基片(4)、在ITO基片(4)上沉积的带有孔洞阵列结构的金属薄膜层(2)、在孔洞中和金属薄膜层上沉积的电介质层(3)以及在电介质层上制备的圆盘状金属阵列结构(1),底层的金属薄膜层(2)、中层的电介质层(3)和顶层的圆盘状金属阵列结构(1)构成金属复合微纳结构。
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