[实用新型]一种单晶炉热场加热系统

摘要

本实用新型公开了一种单晶炉热场加热系统，包保温罩、炉底护盘、石墨加热器、石墨坩埚、石英坩埚、坩埚托盘和埚杆，每个石墨加热器的水平电极连接板的下表面设置有与石墨电极上端形状相匹配的石墨电极安装槽，石墨电极包括石墨凸台和石墨柱体，石墨凸台的直径大于石墨柱体的直径，石墨电极的外部套设有筒状的石英护套，筒状的石英护套的上端向外部延伸形成的圆锥台状的第一导流部，石英护套的外部套设有筒状的电极护套，筒状的电极护套的上端向内部延伸形成的圆锥台状的第二导流部；本实用新型能够有效避免从石英坩埚内漏出的液态硅对单晶炉内部件造成损坏，同时保证石墨电极与石墨加热器的有效稳定连接。

主权项

一种单晶炉热场加热系统，包括筒形的保温罩，保温罩的下部设置有炉底护盘，保温罩内设置有石墨加热器，石墨加热器内设置有石墨坩埚，石墨坩埚内还设置有石英坩埚，石墨坩埚的底部设置有坩埚托盘，坩埚托盘底部竖直设置有埚杆，其特征在于：石墨加热器底部的四个电极连接板均连接有石墨电极，每个石墨加热器的电极连接板均为与石墨加热器一体连接的水平电极连接板，水平电极连接板的下表面设置有与石墨电极上端形状相匹配的石墨电极安装槽，石墨电极安装槽内向上开设有电极螺栓通孔，电极螺栓通孔内设置有电极螺栓，石墨电极包括上端的圆柱状的石墨凸台和下端的圆柱状的石墨柱体，石墨凸台的直径大于石墨柱体的直径，且石墨凸台与石墨柱体一体连接；石墨电极沿轴向开设有石墨电极通孔，石墨电极中部还设置有膨胀孔，膨胀孔的一端与石墨电极通孔导通，膨胀孔的另一端与石墨电极外部导通；石墨电极的外部套设有筒状的石英护套，筒状的石英护套的上端向外部延伸形成的圆锥台状的第一导流部，石英护套的外部套设有筒状的电极护套，筒状的电极护套的上端向内部延伸形成的圆锥台状的第二导流部，电极护套设置在炉底护盘上开设的电极安装孔内。