[实用新型]硅片清洗甩干装置有效
| 申请号： | 201720025859.7 | 申请日： | 2017-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN206435519U | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 应小专 | 申请（专利权）人： | 宁波荣升新能源有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/10;B08B13/00;F26B5/08;H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 浙江杭州金通专利事务所有限公司33100 | 代理人： | 董世博 |
| 地址： | 315600 浙江省宁波市宁海县*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了硅片清洗甩干装置，包括外筒，以及固定在外筒内的搁置架，其特征在于外筒的底板包括相对可旋转的外环部与内圈部，搁置架为环形结构且固定在外环部，外环部与旋转电机连接，内圈部安装有与水泵连接的喷水机头，喷水机头的外周均匀分布有多个高压出水口，搁置架包括上下两片水平设置的圆环片，两片圆环片之间通过连接柱连接，相邻的两个连接柱之间安装有硅片安装架，硅片安装架为前侧面开口的中空结构，硅片安装架的前侧面的边沿处设置有向后翻折、与搁置架结构相适应的折边。本实用新型对硅片的清洗与甩干集中在一个装置内，能够较好的固定硅片，甩干效果良好。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】：
硅片清洗甩干装置，包括外筒，以及固定在外筒内的搁置架，其特征在于所述的外筒的底板包括相对可旋转的外环部与内圈部，所述的搁置架为环形结构且固定在外环部，所述的外环部与旋转电机连接，所述的内圈部安装有与水泵连接的喷水机头，所述的喷水机头的外周均匀分布有多个高压出水口，所述的搁置架包括上下两片水平设置的圆环片，两片圆环片之间通过连接柱连接，所述的相邻的两个连接柱之间安装有硅片安装架，所述的硅片安装架为前侧面开口的中空结构，所述的硅片安装架的前侧面的边沿处设置有向后翻折、与搁置架结构相适应的折边。
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