[发明专利]气体捕集型真空泵及其制作方法和使用方法在审
| 申请号： | 201711496186.4 | 申请日： | 2017-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN108194314A | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | 邵文生;于志强;高玉娟 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十二研究所 |
| 主分类号： | F04B37/02 | 分类号： | F04B37/02;H01J9/385;H01J7/22 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种气体捕集型真空泵，包括壳体、包括多根引针的针封陶瓷芯柱，阴极组件和阳极，该阴极组件包括两个阴极。本发明所述技术方案通过在真空泵中设置两个阴极，实现体积小巧、结构紧凑、工作电压低、无磁铁、寿命长且应用范围广泛的真空泵，可以作为各种小型真空电子器件的真空维持单元。本发明进一步提供一种气体捕集型真空泵的制作方法和使用方法。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 捕集型 阴极 阴极组件 阳极 电子器件 陶瓷芯柱 小型真空 真空维持 电压低 磁铁 壳体 引针 制作 应用 | ||
【主权项】：
1.一种气体捕集型真空泵，包括壳体、包括多根引针的针封陶瓷芯柱，阴极组件和阳极，其特征在于，该阴极组件包括两个阴极。
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