[发明专利]气体捕集型真空泵及其制作方法和使用方法

说明书

本发明公开一种气体捕集型真空泵，包括壳体、包括多根引针的针封陶瓷芯柱，阴极组件和阳极，该阴极组件包括两个阴极。本发明所述技术方案通过在真空泵中设置两个阴极，实现体积小巧、结构紧凑、工作电压低、无磁铁、寿命长且应用范围广泛的真空泵，可以作为各种小型真空电子器件的真空维持单元。本发明进一步提供一种气体捕集型真空泵的制作方法和使用方法。

技术领域

本发明涉及真空电子器件领域。更具体地，涉及一种气体捕集型真空泵及其制作方法和使用方法。

背景技术

真空电子器件广泛应用于国民经济和国防军事等各个领域中，寿命是真空电子器件的重要指标之一，而真空电子器件的寿命则取决于真空泵阴极的发射能力和真空电子器件管内的真空度。真空电子器件由多种不同零件组成，经过装配、焊接、排气等工艺过程后，必须使真空器件与排气系统分离出来。在后期经过加电老炼、测试、寿命过程中，真空电子器件中的零件经过电子轰击后还会有气体释放出来，真空电子器件内残存的各种有害气体，导致许多性能指标下降，甚至一开始就无法工作，为消除这些不利影响，以保证真空电子器件处于正常工作状态，需要真空泵在真空电子器件后期工作中维持器件真空度要求。

真空泵是用来产生、改善、维持真空的装置。其分为气体传输泵和气体捕集泵两种类型。捕集真空泵是气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵。捕集真空泵中的吸气材料有很多种(如金属钛、钨、钼、锆、钡等)，在一定的温度范围内，对活性气体有很好的吸附和吸收性能。在真空条件下，用加热或电子轰击加热的方法，可以将这些金属蒸发沉积在器壁上，形成一层金属薄膜，用来对活性气体进行吸附。

目前用到最多的捕集真空泵是冷钛泵，由于钛价格便宜，且这种材料有强烈的吸气能力、易于加工成形、无污染，因此冷钛泵被广泛应用于真空技术中。但冷钛泵的缺点是工作电压高(需要几千伏)、体积较大且有磁铁，工作时会产生磁场，在对磁场有严格要求的真空电子器中不能使用。

因此，需要提供一种小型化、低电压、无磁场、长寿命的气体捕集型真空泵及其制作方法和使用方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种至少实现小型化、低电压、无磁场、长寿命其中之一的气体捕集型真空泵、其制作方法及使用方法。

根据本发明的一个方面，提供一种气体捕集型真空泵，包括壳体、包括多根引针的针封陶瓷芯柱，阴极组件和阳极，其中，该阴极组件包括两个阴极。

优选地，所述阴极组件进一步包括用作阴极公共端的金属杆，该金属杆与所述两个阴极电连接。

优选地，所述金属杆由难熔金属制成。

优选地，所述金属杆为钼杆，所述钼杆通过固定在钼杆顶端的钼带与阴极电连接。

优选地，所述两个阴极对称地位于所述钼杆的两侧。

优选地，所述针封陶瓷芯柱封装有四根引针，分别与两个阴极、阳极和阴极公共端电连接。

优选地，所述阴极由表面烧结有电泳涂覆的氧化钇的钨丝构成，所述阳极由容置在钽容器内经真空熔炼的铒构成。

优选地，所述壳体进一步包括用于连接被抽器件的法兰和用于外接真空泵的排气管。

根据本发明的另一方面，提供一种如上所述气体捕集型真空泵的制作方法，该方法包括：

对阳极施加电压，对两个阴极中的一个阴极施加电压，绘制真空泵离子流-真空度对应曲线；

将该真空泵维持真空状态封离保存。

根据本发明的再一方面，提供一种如上所述气体捕集型真空泵的使用方法，所述使用方法包括：

该真空泵处于工作状态时，