[发明专利]用于清洁湿法蚀刻机的缓冲单元的快门的装置和方法在审
| 申请号： | 201711488802.1 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN108212883A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 田代 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B5/02 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;武岑飞 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种用于清洁湿法蚀刻机的缓冲单元的快门的装置和方法以及湿法蚀刻机的包括该装置的缓冲单元。湿法蚀刻机包括在基板的运动方向上顺序设置的缓冲单元和蚀刻单元，缓冲单元与蚀刻单元通过腔壁彼此分隔开，腔壁包括窗口以使基板从缓冲单元经由窗口进入蚀刻单元，快门设置在腔壁的面对缓冲单元的侧面上并且用于控制窗口的打开或关闭。用于清洁湿法蚀刻机的缓冲单元的快门的装置与快门相邻地设置在缓冲单元中，该装置包括：输运管，用于输运对快门进行清洁的流体；至少一个喷嘴，流体连通到输运管，并且用于朝向快门喷射流体以对快门进行清洁。 | ||
| 搜索关键词： | 缓冲单元 快门 湿法蚀刻 蚀刻 清洁 腔壁 基板 控制窗口 流体连通 喷射流体 顺序设置 喷嘴 分隔 流体 输运 侧面 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洁湿法蚀刻机的缓冲单元的快门的装置，所述湿法蚀刻机包括在基板的运动方向上顺序设置的缓冲单元和蚀刻单元，缓冲单元与蚀刻单元通过腔壁彼此分隔开，腔壁包括窗口以使基板从缓冲单元经由窗口进入蚀刻单元，快门设置在腔壁的面对缓冲单元的侧面上并且用于控制窗口的打开或关闭，其中，所述装置与快门相邻地设置在缓冲单元中，所述装置包括：输运管，用于输运对快门进行清洁的流体；以及至少一个喷嘴，流体连通到输运管，并且用于朝向快门喷射所述流体以对快门进行清洁。
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