[发明专利]一种金刚石窗口密封器件及其制备方法有效
申请号: | 201711482866.0 | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN108336153B | 公开(公告)日: | 2020-07-17 |
发明(设计)人: | 黄翀;曾凡初 | 申请(专利权)人: | 长沙新材料产业研究院有限公司 |
主分类号: | H01L31/0203 | 分类号: | H01L31/0203;H01L31/028;H01L31/18 |
代理公司: | 北京智为时代知识产权代理事务所(普通合伙) 11498 | 代理人: | 杨静;王加岭 |
地址: | 410205 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供了一种金刚石窗口密封器件及其制备方法。其包括金刚石膜片,沉积在金刚石膜片边缘的第一金属层;设置在第一金属层上的Cu层或Al层:以及通过压制上述两金属层,用于与主设备封装的刀口。与现有技术相比,此发明通过在金刚石表面金属化后再电镀一层金属铜或铝,为密封创造了条件,从而能够以简易的刀口密封方法取代复杂的焊接工艺,本发明提供的金刚石窗口密封器件,可以批量制作金刚石窗口标准器件,工艺简单易行,而且返修或更换都非常方便,大大降低了金刚石窗口器件的应用难度。 | ||
搜索关键词: | 一种 金刚石 窗口 密封 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的