[发明专利]一种金刚石窗口密封器件及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201711482866.0 申请日: 2017-12-29
公开(公告)号: CN108336153B 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 黄翀;曾凡初 申请(专利权)人: 长沙新材料产业研究院有限公司
主分类号: H01L31/0203 分类号: H01L31/0203;H01L31/028;H01L31/18
代理公司: 北京智为时代知识产权代理事务所(普通合伙) 11498 代理人: 杨静;王加岭
地址: 410205 湖南省*** 国省代码: 湖南;43
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摘要: 发明提供了一种金刚石窗口密封器件及其制备方法。其包括金刚石膜片,沉积在金刚石膜片边缘的第一金属层;设置在第一金属层上的Cu层或Al层:以及通过压制上述两金属层,用于与主设备封装的刀口。与现有技术相比,此发明通过在金刚石表面金属化后再电镀一层金属铜或铝,为密封创造了条件,从而能够以简易的刀口密封方法取代复杂的焊接工艺,本发明提供的金刚石窗口密封器件,可以批量制作金刚石窗口标准器件,工艺简单易行,而且返修或更换都非常方便,大大降低了金刚石窗口器件的应用难度。
搜索关键词: 一种 金刚石 窗口 密封 器件 及其 制备 方法
【主权项】:
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