[发明专利]不等高垂直梳齿器件及其制备方法

摘要

本发明的不等高垂直梳齿器件，包括外框架、第一扭转结构、第二扭转结构以及梳齿结构，第二扭转结构设置在第一扭转结构与梳齿结构之间，第一扭转结构与第二扭转结构活动性设置在外框架上，第一扭转结构的一侧固定连接在外框架上，另一侧通过限位结构与第二扭转结构连接，第二扭转结构的一侧设有与梳齿结构相对应的梳齿部，梳齿部与梳齿结构之间具有高度差。该不等高垂直梳齿器件通过特殊的梳齿结构、止挡销结构以及扭转结构，在外力作用下，使该器件实现不等高垂直梳齿结构，具有结构简单、稳定的特点，且其制备方法无需上下梳齿的高精度对位、高精度双面对准光刻等复杂工艺，对工艺、设备要求不高，制备成本较低，且工艺稳定性高、易于生产制造。

主权项

一种不等高垂直梳齿器件，其特征在于，包括外框架、第一扭转结构、第二扭转结构以及梳齿结构，所述第二扭转结构设置在所述第一扭转结构与梳齿结构之间，所述第一扭转结构与第二扭转结构活动性设置在所述外框架上，所述第一扭转结构的一侧固定连接在所述外框架上，另一侧通过限位结构与所述第二扭转结构连接，所述第二扭转结构的一侧设有与所述梳齿结构相对应的梳齿部，所述梳齿部与所述梳齿结构之间具有高度差。