[发明专利]绝缘层覆硅结构有效

专利信息
申请号: 201711463663.7 申请日: 2015-06-12
公开(公告)号: CN107994037B 公开(公告)日: 2019-07-26
发明(设计)人: 吴孝哲 申请(专利权)人: 江苏时代全芯存储科技股份有限公司;江苏时代芯存半导体有限公司;英属维京群岛商时代全芯科技有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明揭露一种绝缘层覆硅结构。绝缘层覆硅结构包含一底层,一主动层,绝缘层,一第一绝缘结构,一第二绝缘结构与一阻隔层。主动层位于底层上方。第一绝缘结构位于主动层与底层之间。第二绝缘结构绕主动层与第一绝缘结构。主动层嵌于第一绝缘结构中,且主动层的上表面与第二绝缘结构的上表面为共平面。阻隔层位于第二绝缘结构中并环绕主动层。
搜索关键词: 绝缘 层覆硅 结构
【主权项】:
1.一种绝缘层覆硅结构,其特征在于,包含:一底层;一主动层位于该底层上方;一第一绝缘结构位于该主动层与该底层之间;一第二绝缘结构绕该主动层与该第一绝缘结构,其中该主动层嵌于该第一绝缘结构与该第二绝缘结构共同组成的一绝缘层中,且该主动层的一上表面与该第二绝缘结构的一上表面为共平面;以及一阻隔层位于该第二绝缘结构中并环绕该主动层。
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