[发明专利]一种酸性蚀刻液再生循环装置在审
| 申请号： | 201711453595.6 | 申请日： | 2017-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN109972138A | 公开（公告）日： | 2019-07-05 |
| 发明（设计）人： | 罗宝奎;陈永江 | 申请（专利权）人： | 广州市吉池环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/08;C22B7/00;C22B15/00;C25C1/12 |
| 代理公司： | 北京君华知识产权代理事务所(普通合伙) 11515 | 代理人： | 朱庆华 |
| 地址： | 510700 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种酸性蚀刻液的再生循环装置，包括顺序连接的酸性蚀刻线（DES）、蚀刻废液槽和电解槽，所述酸性蚀刻线与酸雾吸收缸连通，所述蚀刻废液槽收集酸性蚀刻线（DES）产生的废液，并将其输送至电解槽中，所述电解槽将废液电解，将废液中的铜离子转化为电解铜板，同时将废液中的氯离子氧化为氯气，所述酸雾吸收缸收集电解槽中的废液，并与电解槽中产生的氯气发生反应，得到再生蚀刻液。本发明提供的方法使再生蚀刻液的回用率可以达到100%，减少约80%的盐酸和氧化剂的添加，大大降低了物料成本。 | ||
| 搜索关键词： | 电解槽 废液 酸性蚀刻 再生循环装置 酸性蚀刻液 再生蚀刻液 氯气 蚀刻废液 酸雾吸收 氧化剂 电解铜板 顺序连接 物料成本 氯离子 铜离子 电解 盐酸 连通 转化 | ||
【主权项】：
1.一种酸性蚀刻液的再生循环装置，一种酸性蚀刻液的再生循环装置，包括顺序连接的酸性蚀刻线（DES）、蚀刻废液槽和电解槽，所述酸性蚀刻线与酸雾吸收缸连通,其特征在于，所述蚀刻废液槽收集酸性蚀刻线（DES）产生的废液，并将其输送至电解槽中，所述电解槽将废液电解，将废液中的铜离子转化为电解铜板，同时将废液中的氯离子氧化为氯气，所述酸雾吸收缸收集电解槽中的废液，并与电解槽中产生的氯气发生反应，得到再生蚀刻液。
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