[发明专利]一种酸性蚀刻液再生循环装置

权利要求书

1.一种酸性蚀刻液的再生循环装置，一种酸性蚀刻液的再生循环装置，包括顺序连接的酸性蚀刻线（DES）、蚀刻废液槽和电解槽，所述酸性蚀刻线与酸雾吸收缸连通,其特征在于，所述蚀刻废液槽收集酸性蚀刻线（DES）产生的废液，并将其输送至电解槽中，所述电解槽将废液电解，将废液中的铜离子转化为电解铜板，同时将废液中的氯离子氧化为氯气，所述酸雾吸收缸收集电解槽中的废液，并与电解槽中产生的氯气发生反应，得到再生蚀刻液。

2.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述酸性蚀刻线、蚀刻废液槽、电解槽及酸雾吸收缸之间通过高压泵连通。

3.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述电解槽包括阳极室和阴极室；所述阳极室将氯离子氧化为氯气，所述阴极室电解出金属铜板。

4.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述酸性蚀刻液的再生循环装置还包括与所述酸性蚀刻线（DES）连通的储存槽，储存槽内储存盐酸和氧化剂，所述盐酸和氧化剂用于添加至所述酸雾吸收缸的再生蚀刻液中。

5.根据权利要求4所述的酸性蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述储存槽还设有与所述储存槽连通的自动添加控制装置。

6.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述酸性蚀刻液的再生循环装置还包括氯气报警装置，用于在线实时监控排放风管和车间氯气浓度。

7.根据权利要求1所述的酸性蚀刻液的再生循环装置，其特征在于，所述酸性蚀刻液的再生循环装置还包括铁屑吸收装置，用于将废铁与氯气吸收系统未充分处理的尾气反应，消除尾气中的氯气和酸度，得到液体三氯化铁副产品。