[发明专利]ARPES真空系统、真空安全联锁系统和真空安全联锁方法有效
| 申请号： | 201711422421.3 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN108196502B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 张凯莉;沈大伟;向兀;刘吉山;刘正太;刘中灏;樊聪聪;刘万领;卢祥乐 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | G05B19/05 | 分类号： | G05B19/05 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种ARPES真空系统、真空安全联锁系统和真空安全联锁方法。所述ARPES真空系统包括真空管路；所述真空管路的首端至末端依次设置有前级机械泵、第一真空规、第一前级真空阀、第二前级真空阀、第三前级真空阀、第一前级分子泵阀、第一分子泵、第二前级分子泵阀、第二真空规、第二分子泵、分子泵阀、离子泵阀、离子泵、样品准备腔、分析腔；所述样品准备腔和分析腔之间设置有腔体阀门，所述准备腔上接有第三真空规和第四真空规，所述分析腔上接有第五真空规第五真空规和吸附泵，所述分析腔和所述吸附泵之间设置有吸附泵阀；所述第一分子泵和所述分析腔之间的所述真空管路上依次设置有冷凝泵阀、冷凝泵和冷凝泵闸板阀。 | ||
| 搜索关键词： | arpes 真空 系统 安全 联锁 方法 | ||
【主权项】：
1.一种ARPES真空系统，其特征在于，所述ARPES真空系统包括真空管路(14)；所述真空管路(14)的首端至末端依次设置有前级机械泵(15)、第一真空规(16)、第一前级真空阀(17)、第二前级真空阀(18)、第三前级真空阀(19)、第一前级分子泵阀(20)、第一分子泵(21)、第二前级分子泵阀(22)、第二真空规(23)、第二分子泵(24)、分子泵阀(25)、离子泵阀(26)、离子泵(27)、样品准备腔(28)、分析腔(29)；所述样品准备腔(28)和分析腔(29)之间设置有腔体阀门(30)，所述准备腔(28)上接有第三真空规(31)和第四真空规(32)，所述分析腔(29)上接有第五真空规(33)和吸附泵(34)，所述分析腔(29)和所述吸附泵(34)之间设置有吸附泵阀(35)；其中，所述第三真空规(31)、第四真空规(32)和第五真空规(33)的测量精度高于第一真空规(16)和第二真空规(23)的测量精度；所述第一分子泵(21)和所述分析腔(29)之间的所述真空管路(14)上依次设置有冷凝泵阀(36)、冷凝泵(37)和冷凝泵闸板阀(38)。
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