[发明专利]ARPES真空系统、真空安全联锁系统和真空安全联锁方法

权利要求书

1.一种ARPES真空系统，其特征在于，所述ARPES真空系统包括真空管路(14)；

所述真空管路(14)的首端至末端依次设置有前级机械泵(15)、第一真空规(16)、第一前级真空阀(17)、第二前级真空阀(18)、第三前级真空阀(19)、第一前级分子泵阀(20)、第一分子泵(21)、第二前级分子泵阀(22)、第二真空规(23)、第二分子泵(24)、分子泵阀(25)、离子泵阀(26)、离子泵(27)、样品准备腔(28)、分析腔(29)；

所述样品准备腔(28)和分析腔(29)之间设置有腔体阀门(30)，所述准备腔(28)上接有第三真空规(31)和第四真空规(32)，所述分析腔(29)上接有第五真空规(33)和吸附泵(34)，所述分析腔(29)和所述吸附泵(34)之间设置有吸附泵阀(35)；其中，所述第三真空规(31)、第四真空规(32)和第五真空规(33)的测量精度高于第一真空规(16)和第二真空规(23)的测量精度；

所述第一分子泵(21)和所述分析腔(29)之间的所述真空管路(14)上依次设置有冷凝泵阀(36)、冷凝泵(37)和冷凝泵闸板阀(38)。

2.一种真空安全联锁系统，其特征在于，包括控制系统和权利要求1所述的ARPES真空系统；其中，

所述控制系统包括处理器、存储器和接口电路；所述接口电路用于与所述ARPES真空系统通信；所述存储器存储有计算机程序，所述处理器用于执行所述计算机程序，对所述ARPES真空系统进行控制。

3.根据权利要求2所述的真空安全联锁系统，其特征在于，所述控制系统采用可编程逻辑控制器PLC。

4.根据权利要求2所述的真空安全联锁系统，其特征在于，所述接口电路包括适用于以太网、USB、RS422中任一种或多种的通信模块。

5.根据权利要求2所述的真空安全联锁系统，其特征在于，所述控制系统还包括触摸屏。

6.一种真空安全联锁方法，其特征在于，用于权利要求2-5任一项所述的真空安全联锁系统，包括：

控制系统通过接口电路接收ARPES真空系统的工作状态、真空气压数据和/或阀门状态数据；

控制系统的处理器根据ARPES真空系统的工作状态、所述真空气压数据和/或所述阀门状态数据生成用于控制所述ARPES真空系统的阀门和/或真空泵组的指令。

7.根据权利要求6所述的真空安全联锁方法，其特征在于，所述控制系统的处理器根据ARPES真空系统的工作状态、所述真空气压数据和/或所述阀门状态数据生成控制所述ARPES真空系统的阀门和/或真空泵组的指令的步骤包括：

在所述ARPES真空系统处于启动状态时，所述处理器生成用于开启分子泵阀(25)、第一前级真空阀(17)、第一前级真空阀(18)、第一前级真空阀(19)、前级机械泵(15)的控制指令。

8.根据权利要求6所述的真空安全联锁方法，其特征在于，所述控制系统的处理器根据ARPES真空系统的工作状态、所述真空气压数据和/或所述阀门状态数据生成控制所述ARPES真空系统的阀门和/或真空泵组的指令的步骤还包括：

当第一真空规(16)的真空度达到10^-3Torr时，所述处理器生成用于开启第一分子泵(21)的控制指令；

当第四真空规(32)的真空度达到10^-9Torr时，所述处理器生成用于依次开启离子泵(27)、冷凝泵(37)和吸附泵(34)的控制指令。