[发明专利]一种调频连续波激光干涉光纤位移传感器及其位移检测方法在审
申请号: | 201711418334.0 | 申请日: | 2017-12-25 |
公开(公告)号: | CN108050941A | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 郑刚;高明;刘卫国;陈海滨;张雄星;王伟;郭峰;李艳萍;井李强 | 申请(专利权)人: | 西安工业大学 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人: | 黄秦芳 |
地址: | 710032 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明涉及一种调频连续波激光干涉光纤位移传感器及其位移检测方法,该光纤位移传感器包括单模调频连续波激光器和至少一路光纤位移传感系统;光纤位移传感系统包括光学环行器、光纤准直器、部分反射镜、合作反射镜和光电探测器;单模调频连续波激光器通过单模光纤或者光纤耦合器与光学环行器的入射端口相连,光学环行器的相邻出射端口通过单模光纤与光纤准直器相连,光学环行器的第三端口与光电探测器相连,光纤准直器后设置部分反射镜,部分反射镜后设置合作反射镜,合作反射镜与附着于待测目标物体表面并与其一起移动。该光纤位移传感器可以在数厘米以上的大量程范围内,获得<10nm的测量精度,实现大动态范围的精密光纤位移传感测量。 | ||
搜索关键词: | 一种 调频 连续 激光 干涉 光纤 位移 传感器 及其 检测 方法 | ||
【主权项】:
1.一种调频连续波激光干涉光纤位移传感器,其特征在于,包括单模调频连续波激光器和与所述单模调频连续波激光器连接的至少一路光纤位移传感系统;所述的光纤位移传感系统包括光学环行器、光纤准直器、部分反射镜、合作反射镜和光电探测器;所述单模调频连续波激光器通过单模光纤或者光纤耦合器与光学环行器的入射端口相连,光学环行器的相邻出射端口通过单模光纤与光纤准直器相连,光学环行器的第三端口与光电探测器相连,光纤准直器后设置部分反射镜,部分反射镜后设置合作反射镜,合作反射镜与附着于待测目标物体表面并与其一起移动。
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