[发明专利]自适应式干式真空机械泵电控系统及控制方法

摘要

本发明公开了一种自适应式干式真空机械泵电控系统及控制方法，包括：泵组前压力检测单元；PLC的模拟量输入模块；CPU单元，其能够按照预设的自适应抽真空计算模型输出相应的控制指令以控制各真空泵组电机进行相应的操作，所述自适应抽真空计算模型包括自动以给定的工艺参数为基准，在控制各级真空泵组电机进行抽真空操作前，基于各泵组前压力检测单元所检测的压力信号，预先计算并分配多级真空泵组各自所需要的抽气时间及抽气速度，同时在某一级真空泵组完成抽真空操作时重新计算并分配余下各级真空泵组各自所需要的抽气时间及抽气速度；交流变频器以及多级网络通讯模块。本发明能够动态调整抽气速度以获得系统自适应的能力。

主权项

一种自适应式干式真空机械泵电控系统，该电控系统能够控制多级真空泵组，其特征在于，包括：若干分别与各级真空泵组管道相连接的泵组前压力检测单元，该泵组前压力检测单元能够检测其所在真空泵组管道内的压力信号并所述压力信号转换成电信号；通过PLC的模拟量输入模块与各所述泵组前压力检测单元相连接的CPU单元，该CPU单元能够按照预设的自适应抽真空计算模型输出相应的控制指令以控制各真空泵组电机进行相应的操作，所述自适应抽真空计算模型包括自动以给定的工艺参数为基准，在控制各级真空泵组电机进行抽真空操作前，基于各泵组前压力检测单元所检测的压力信号，预先计算并分配多级真空泵组各自所需要的抽气时间及抽气速度，同时在某一级真空泵组完成抽真空操作时重新计算并分配余下各级真空泵组各自所需要的抽气时间及抽气速度，所述工艺参数至少包括真空压力值和工艺流程时间；若干分别与各级真空泵组相连接的交流变频器，该交流变频器能够实时向CPU单元反馈自身的状态数据以及所连接的真空泵组电机的状态数据并执行CPU单元下发的控制指令，以完成对所述真空泵组电机的控制操作；以及能够实现所述CPU单元与上位机进行数据交换的多级网络通讯模块。