[发明专利]一种大抽速结构紧凑的组合泵

摘要

本发明是一种大抽速结构紧凑的组合泵，由溅射离子泵和吸气剂泵组合而成，它包括一个或多个阳极室并联组成的用以连接高压的阳极筒，以及至少一个装在阳极室内、具有加热结构并且含有多孔吸气材料的吸气剂泵，工作时，放置在真空腔体中，将阳极筒连接至高压直流电源的阳极，将多孔吸气材料连接到高压直流电源的接地端，抽真空后通过加热元件将吸气剂泵通电激活，再在阳极筒周围加上磁场。优点：大大缩小了组合泵的体积，使得结构更为紧凑；在阳极室内的阴极溅射得更为强烈，因此具有更大的抽速；再者，多种成分的多孔吸气材料溅射出的吸气薄膜比传统的钛膜具有更大的吸气速度。

主权项

1.一种大抽速结构紧凑的组合泵，其特征是由溅射离子泵和吸气剂泵组合而成，它包括一个或多个并联的阳极筒组成的用以连接高压的阳极室，以及至少一个装在阳极筒内、具有加热结构并且含有多孔吸气材料的吸气剂泵，工作时，将所述组合泵放置在真空腔体中，将阳极筒连接至高压直流电源的阳极，将多孔吸气材料连接到高压直流电源的接地端，抽真空后通过加热元件将吸气剂泵通电激活，再在阳极筒周围加上磁场；所述的吸气剂泵，将多孔的吸气材料与加热元件装配在一起就组成了一个吸气剂泵，其加热元件在多孔的吸气材料的内部通过热传导加热，或在多孔吸气材料的外部通过热辐射加热；所述的多孔的吸气材料，由吸气合金粉末制成，中间有孔，厚度1mm的薄片状，外形是圆形或是矩形，在溅射时，由于电场强度的不同，离中心远的部分优先溅射，从而将吸气阴极的溅射区和吸气区分开，避免吸气合金吸收的气体在溅射过程中再次被释放从而造成系统压力的波动；所述的吸气剂泵，由非蒸散型多孔吸气材料和加热结构组成；吸气剂泵周围加一保护罩，该保护罩有多个通孔以使气体得以穿透；所述的阳极筒是由厚度为0.25mm的316L不锈钢薄片焊接而成，直径为10cm，高度为5cm。