[发明专利]一种α相氮化硅粉体的制备方法有效
| 申请号： | 201711372158.1 | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN107954723B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 谢志鹏;胡尊兰 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | C04B35/584 | 分类号： | C04B35/584;C04B35/626;C01B21/068;B01J19/18;B01J4/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 关畅;刘鑫鑫 |
| 地址： | 100084 北京市海淀区1*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种α相氮化硅粉体的制备方法。该制备方法，包括如下步骤：(1)四氯化硅在有机溶剂和液氨的两液相界面与液氨反应，得到前驱体硅亚胺；所述有机溶剂为甲苯或者甲苯与二甲苯的混合物；(2)将步骤(1)中所述硅亚胺进行热分解，得到无定形氮化硅粉体；(3)将步骤(2)中所述无定形氮化硅粉体进行结晶化处理，得到所述α相氮化硅粉体。本发明方法中，四氯化硅在有机溶剂和液氨的两液相界面与液氨反应，较低温度、稀释四氯化硅、控制加料速率可以减缓反应速率，有效控制前驱体的合成，避免前驱体形成团聚体，界面反应扩大了反应面积，加快NH |
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| 搜索关键词： | 一种 氮化 硅粉体 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种α相氮化硅粉体的制备方法，包括如下步骤：(1)四氯化硅在有机溶剂和液氨的两液相界面与液氨反应，得到前驱体硅亚胺；所述有机溶剂为甲苯或者甲苯与二甲苯的混合物；(2)将步骤(1)中所述硅亚胺进行热分解，得到无定形氮化硅粉体；(3)将步骤(2)中所述无定形氮化硅粉体进行结晶化处理，得到所述α相氮化硅粉体。
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