[发明专利]一种管式PECVD在线式控制系统及控制方法有效
| 申请号： | 201711362685.4 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN107993966B | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 符慧能 | 申请（专利权）人： | 湖南红太阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;C23C16/52 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;廖元宝 |
| 地址： | 410205 湖南省*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种管式PECVD在线式控制系统，包括上下料控制单元和工艺管控制单元，所述上下料控制单元分别与插片机和工艺管控制单元通讯相连，用于获取所述插片机中石墨舟信息并发送至工艺管控制单元，所述工艺管控制单元用于根据石墨舟信息对工艺管进行自动控制。本发明还公开了一种控制方法，包括以下步骤：S01、在插片机进行插片作业时，所述上下料控制单元获取插片机中石墨舟信息并发送至工艺管控制单元；S02、工艺管控制单元根据石墨舟信息提前选择石墨舟对应的工艺管桨以及工艺参数以进行自动控制。本发明的系统及方法均具有自动化程度高以及生产效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 pecvd 在线 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
一种管式PECVD在线式控制系统，其特征在于，包括上下料控制单元和工艺管控制单元，所述上下料控制单元分别与插片机和工艺管控制单元通讯相连，用于获取所述插片机中石墨舟信息并发送至工艺管控制单元，所述工艺管控制单元用于根据石墨舟信息对工艺管进行自动控制。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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