[发明专利]一种基于超表面的芯片激光雷达位相调控的波导结构

摘要

本发明公开了一种超表面的芯片激光雷达位相调控的波导结构，用于解决现有的光栅波导透过率小，不能实现相位调控的问题。该结构由很多高折射率材料的单元结构组成的，这些单元结构构成了很多个电、磁偶极共振，通过相邻粒子之间的相互耦合作用在近红外波段传输光能量。该发明设计通过等效介质理论、材料的掺杂浓度分析和电磁场的边界条件来建立亚波长波导结构的阻抗与其出射相位的关系；构造出合适的结构，通过多次结构优化其结构参数同时实现大角度的相位调控和高能量利用率。

主权项

1.基于超表面的芯片激光雷达位相调控的波导结构，其特征在于：该波导结构是由多个等大小的圆柱形结构呈链状排列而成，该结构具有电、磁偶极子之间的相互耦合作用，从而实现能量的传输；实现了亚波长结构平行排列而成波导结构，该波导通过纳米结构之间的相互耦合作用传输光子能量；该结构实现了近红外波段的能量传输，具有非常小的能量损耗，通过对单波导进行调控，减小了制作工艺的复杂程度，且易实现大规模集成；实现大角度相位调控，通过改变波导有效折射率，从而高效的实现大角度位相调控。