[发明专利]一种用于彩色光刻胶的流平剂有效
| 申请号： | 201711304248.7 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN109897134B | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 孙涛;刘永祥;桑伟 | 申请（专利权）人： | 北京鼎材科技有限公司 |
| 主分类号： | C08F220/24 | 分类号： | C08F220/24;C08F212/08;C08F222/40;C08F220/18;C08F220/44;G03F7/004;G03F7/00;G03F7/40 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100192 北京市海淀区西*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种新型流平剂，其主要由如下单体聚合得到：丙烯酸六氟丁酯20～40重量份，玻璃化温度大于100℃的单体20～40重量份，马来酰亚胺10～20重量份，长脂肪侧链单体10～20重量份。本发明的流平剂添加入光阻后呈微小颗粒悬浮状态，不溶于彩色光刻胶常用溶剂丙二醇甲醚醋酸酯，同时可以在100℃以内保持固态，避免在前段工艺提早迁移至光阻表面。在后烘时转变为熔融态缓慢向外迁移至光阻表面，进而改善光刻胶的流动性。同时此流平剂能够显著降低光阻材料表面的粗糙度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 彩色 光刻 流平剂 | ||
【主权项】：
1.一种流平剂，主要由如下单体聚合得到：丙烯酸六氟丁酯(a)20～40重量份玻璃化温度大于100℃单体(b)20～40重量份马来酰亚胺(c)10～20重量份长脂肪侧链单体(d)10～20重量份。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京鼎材科技有限公司，未经北京鼎材科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711304248.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
