[发明专利]高精密支撑掩膜版在审
| 申请号： | 201711298540.2 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN107841710A | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 唐军 | 申请（专利权）人： | 唐军 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州市南锋专利事务所有限公司44228 | 代理人： | 郑学伟,叶利军 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高精密支撑掩膜版，包括板框、多个条形掩膜片及支撑膜网，多个条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个条形掩膜片沿横向延伸且其两端焊接于板框的顶面，每个条形掩膜片上设有至少一个掩膜图案；支撑膜网位于多个条形掩膜片的下方且被固定于板框上，支撑膜网支撑多个条形掩膜片并覆盖各个拼接间隙但不遮挡各个掩膜图案。根据本发明实施例提供的高精密支撑掩膜版，既可以满大尺寸的玻璃基板镀膜要求，实现批量生产，提高生产效率，也可以满足显示器在批量生产过程中的良率及精度要求。此外，其使用寿命长，用户端的成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 精密 支撑 掩膜版 | ||
【主权项】：
一种高精密支撑掩膜版，其特征在于，包括：板框；多个条形掩膜片，多个所述条形掩膜片沿纵向依次紧贴设置，相邻两个所述条形掩膜片之间具有拼接间隙；每个所述条形掩膜片沿横向延伸且其两端焊接于所述板框的顶面，每个所述条形掩膜片上设有至少一个掩膜图案；支撑膜网，所述支撑膜网位于多个所述条形掩膜片的下方且被固定于所述板框上，所述支撑膜网支撑多个所述条形掩膜片并覆盖各个所述拼接间隙但不遮挡各个所述掩膜图案。
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