[发明专利]用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热形变的装置和方法

摘要

本申请提供用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热变形的装置及方法，所述装置包括：在竖直方向上设置的上下加热器；用于控制它们升降的电机；设置在下加热器表面上的用于安放基底的样品台；在样品台和上加热器之间的水平导轨；在水平导轨上的用于安放催化剂的载板，所述载板和样品台之间是用于临近催化化学气相沉积的反应区；设置在样品台与载板之间的光栅尺；用于检测催化剂是否与基底接触的短路检测装置和用于控制样品台升降的控制装置，其中上下加热器用于对反应区提供适合二维材料生长的温度。通过利用本发明的装置和方法，可以确定和判断催化剂在不同温度下随时间的热形变量，解决催化剂在高温下的形变对生长所导致的问题。

主权项

1.一种用于确定临近催化化学气相沉积中催化剂的热变形的装置，所述装置包括：设置在竖直方向上的彼此相对的上加热器和下加热器；电连接至所述上加热器和下加热器的用于控制它们在所述竖直方向上升降的电机；设置在所述下加热器表面上的样品台，其用于安放在所述临近催化化学气相沉积期间生长二维材料的基底；设置在所述样品台和所述上加热器之间的水平导轨；设置在所述水平导轨上并且具有一个或多个用于安放催化剂的穿孔的载板，所述载板和所述样品台之间为用于临近催化化学气相沉积的反应区；设置在所述样品台与所述载板之间的用于测量基底与催化剂之间的距离的光栅尺；设置在所述样品台与所述载板之间的用于检测所述载板上的催化剂是否与所述样品台上的基底发生接触的短路检测装置；和电连接至所述短路检测装置和所述电机的控制装置，其中所述上加热器和所述下加热器用于对所述反应区提供适合所述二维材料生长的温度。