[发明专利]电磁式振动能量收集器及其制备方法有效
| 申请号： | 201711292703.6 | 申请日： | 2017-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN108002341B | 公开（公告）日： | 2020-06-12 |
| 发明（设计）人： | 黄晓东;黄见秋;黄庆安 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C3/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 214135 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电磁式振动能量收集器及其制备方法，该振动能量收集器包括：相互堆叠的第一衬底、第二衬底和第三衬底；所述第一衬底、所述第三衬底经刻蚀分别形成第一、第二悬臂梁结构，其中所述第一衬底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方为第一悬臂梁结构，所述第三衬底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方为第二悬臂梁结构；所述第一悬臂梁结构的外侧表面设置有第一电磁拾振结构，所述第二悬臂梁结构的外侧表面设置有第二电磁拾振结构。使用本发明的制备方法制备的电磁式振动能量收集器具有结构紧凑、输出功率密度高、精度高、一致性好、易于批量制造、制造成本低及易于小型化的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 电磁式 振动 能量 收集 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种电磁式振动能量收集器，其特征在于，其包括：相互堆叠的第一衬底、第二衬底和第三衬底；所述第一衬底、所述第三衬底经刻蚀分别形成第一、第二悬臂梁结构，其中所述第一衬底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方为第一悬臂梁结构，所述第三衬底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方为第二悬臂梁结构；所述第二衬底的上、下表面相对应的位置形成有第三凹槽和第四凹槽，所述第三凹槽和所述第四凹槽之间间隔第二衬底薄膜；所述第三凹槽中设置有永磁体；所述第一凹槽与所述第三凹槽相对堆叠，所述第二凹槽与所述第四凹槽相对堆叠；所述第一悬臂梁结构的外侧表面设置有第一电磁拾振结构，所述第二悬臂梁结构的外侧表面设置有第二电磁拾振结构。
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