[发明专利]电磁式振动能量收集器及其制备方法

权利要求书

1.一种电磁式振动能量收集器，其特征在于，其包括：

相互堆叠的第一衬底、第二衬底和第三衬底；所述第一衬底、所述第三衬底经刻蚀分别形成第一、第二悬臂梁结构，其中所述第一衬底的下表面形成有第一凹槽、所述第一凹槽上方为第一悬臂梁结构，所述第三衬底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方为第二悬臂梁结构；

所述第二衬底的上、下表面相对应的位置形成有第三凹槽和第四凹槽，所述第三凹槽和所述第四凹槽之间间隔第二衬底薄膜；所述第三凹槽中设置有永磁体；所述第一凹槽与所述第三凹槽相对堆叠，所述第二凹槽与所述第四凹槽相对堆叠；

所述第一悬臂梁结构的外侧表面设置有第一电磁拾振结构，所述第二悬臂梁结构的外侧表面设置有第二电磁拾振结构。

2.根据权利要求1所述电磁式振动能量收集器，其特征在于，还包括设置在所述第一悬臂梁结构末端的第一质量块，和/或还包括设置在所述第二悬臂梁结构末端的第二质量块。

3.根据权利要求1所述电磁式振动能量收集器，其特征在于，所述第一电磁拾振结构包括设置在所述第一悬臂梁表面的第一电感线圈层；和/或所述第二电磁拾振结构包括设置在所述第二悬臂梁表面的第二电感线圈层。

4.根据权利要求1所述电磁式振动能量收集器，其特征在于，所述第一凹槽、所述第二凹槽、所述第三凹槽、所述第四凹槽的表面设置有绝缘层。

5.根据权利要求3所述的电磁式振动能量收集器，其特征在于，所述第一、第二电感线圈层与所述第一衬底和所述第二衬底之间均设有绝缘层。

6.一种电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

选择第一衬底，刻蚀所述第一衬底的下表面，形成第一凹槽结构；

在所述第一衬底与所述下表面相对的上表面沉积并刻蚀形成第一电感线圈层；

刻蚀所述第一衬底的上表面，形成第一悬臂梁结构；

选择第二衬底，刻蚀所述第二衬底的上、下表面，形成第三凹槽结构、第四凹槽结构，所述第三凹槽结构和所述第四凹槽结构间隔残留的第二衬底薄膜相对设置；

在所述第二衬底的上表面形成的所述第三凹槽结构内安装永磁体；

选择第三衬底，执行与所述第一悬臂梁结构相同的制备步骤形成第二悬臂梁结构；其中所述第三衬底的上表面形成有第二凹槽、所述第二凹槽下方为第二悬臂梁结构；

将所述第一衬底的第一凹槽结构正对所述第二衬底的第三凹槽结构、所述第二衬底的第四凹槽结构正对所述第三衬底的第二凹槽结构进行组装，制成所述电磁式振动能量收集器。

7.根据权利要求6所述的电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，还包括以下步骤：

在所述第一凹槽结构、所述第二凹槽结构、所述第三凹槽结构、所述第四凹槽结构表面沉积绝缘层。

8.根据权利要求6所述的电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，还包括以下步骤：

在所述第一悬臂梁结构末端、所述第二悬臂梁结构末端安装质量块。

9.根据权利要求6所述的电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，所述组装包括键合工艺。

10.根据权利要求6所述的电磁式振动能量收集器的制备方法，其特征在于，所述第一悬臂梁结构和所述第一电感线圈层之间沉积有绝缘层。