[发明专利]一种激光射流复合抛光方法与装置有效
| 申请号： | 201711284504.0 | 申请日： | 2017-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN108000147B | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 张连新;孙鹏飞;李建;李明;吴祉群 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 |
| 主分类号： | B23P23/00 | 分类号： | B23P23/00;B23K26/352 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621999 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光射流复合抛光方法与装置。该方法与装置通过调节激光抛光模块的聚焦透镜，使激光束汇聚至待加工工件表面形成激光束焦斑；通过供压泵输送抛光液流经喷嘴喷出，产生的射流束冲击于待加工工件表面，形成射流束冲击区域；通过机械结构保证激光束焦斑与射流束冲击区域重叠，进而改变射流束冲击区域、激光束焦斑与待加工工件的相对位置，完成待加工工件表面的复合抛光过程。该方法与装置解决了常规抛光技术存在热应力、加工效率较低的瓶颈问题，提高了超精密抛光效率，同时提高了抛光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 射流 复合 抛光 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光射流复合抛光方法，其特征在于，所述复合抛光方法包括以下步骤：a.待加工工件表面朝下放置于定位板上，并由固定板固定；b.将激光抛光模块放置于待加工工件上方，将射流抛光模块放置于待加工工件下方；c.调整激光抛光模块的聚焦透镜，使激光束汇聚至待加工工件下表面形成激光束焦斑；d.射流抛光模块的供压泵输送抛光液流经喷嘴喷出，产生的射流束冲击于待加工工件下表面，形成射流束冲击区域；e.分别调节激光抛光模块、射流抛光模块的空间位置使激光束焦斑与射流束冲击区域重合，进行待加工工件下表面一点的材料去除，完成此点的复合抛光过程；f.改变射流束冲击区域、激光束焦斑与待加工工件的相对位置，完成待加工工件下表面的复合抛光过程。
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