[发明专利]一种具有条纹对比度自动调节功能的长焦距测量装置在审
| 申请号： | 201711277642.6 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN107941473A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 陈好;蒋泽伟;贾静;张浩;赵琦;樊红英;胡绍云;孟庆安;王询;何易德 | 申请（专利权）人： | 西南技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 中国兵器工业集团公司专利中心11011 | 代理人： | 刘二格 |
| 地址： | 610041 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有条纹对比度自动调节功能的长焦距测量装置，其方案为光纤激光器(1)出射标准球面波经准直物镜(2)后产生标准平面波前；被测元件(3)放置在准直物镜(2)和主尺光栅(4)之间，标准平面波前经过被测系统后携带被测系统(3)的焦距信息，然后依次经过栅线之间存在很小角度的主尺光栅(4)和基尺光栅(6)，在旋转毛玻璃(7)上形成莫尔条纹；由CCD传感器(8)采集莫尔条纹传输给计算机(9)，计算机对采集的莫尔条纹处理后即可得到被测元件焦距。本发明结构简单、莫尔条纹质量号、自动化程度和系统测量精度均很高，可以用于长焦距的高精确自动化测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 条纹 对比度 自动 调节 功能 焦距 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种具有条纹对比度自动调节功能的长焦距测量装置，其特征在于，包括：沿光路方向同轴布置的光纤激光器(1)、准直物镜(2)、主尺光栅(4)、基尺光栅(6)、旋转毛玻璃(7)、CCD传感器(8)；光纤激光器(1)出射标准球面波经准直物镜(2)后产生标准平面波前；被测元件(3)放置在准直物镜(2)和主尺光栅(4)之间，标准平面波前经过被测元件(3)后携带被测元件(3)的焦距信息，然后依次经过主尺光栅(4)和基尺光栅(6)，在旋转毛玻璃(7)上形成莫尔条纹；由CCD传感器(8)采集莫尔条纹传输给计算机(9)，计算机(9)对采集的莫尔条纹处理后即可得到被测元件焦距。
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