[发明专利]压印装置及物品制造方法在审
| 申请号： | 201711275410.7 | 申请日： | 2017-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN108153107A | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 原山智大 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京怡丰知识产权代理有限公司 11293 | 代理人： | 迟军;李艳丽 |
| 地址： | 日本东京都*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及压印装置及物品制造方法。压印装置包括保持模具的模具保持部，通过抽吸保持基板的基板保持部，通过使模具保持部与基板保持部相对彼此靠近来使模具与基板上的压印材料接触的驱动设备以及控制器。控制器在通过基于基板保持部保持的基板的表面形状数据而控制基板多个抽吸区域内部的压力以使基板相对于模具变形为凸状的状态下，控制驱动设备使模具与压印材料接触。 | ||
| 搜索关键词： | 模具 基板保持部 压印装置 基板 物品制造 压印材料 控制器 表面形状数据 控制驱动设备 抽吸保持 抽吸区域 基板相对 控制基板 模具变形 驱动设备 凸状 | ||
【主权项】：
一种压印装置，其进行通过使模具与基板上的压印材料接触来形成图案的压印处理，所述压印装置包括：模具保持部，其被构造为保持模具；基板保持部，其被构造为通过抽吸保持基板；驱动设备，其被构造为通过使模具保持部与基板保持部相对彼此靠近来使模具与压印材料接触；以及控制器，其被构造为以如下方式控制驱动设备：在通过基于基板保持部保持的基板的表面形状数据而控制基板保持部抽吸基板的压力以使基板相对于模具变形为凸状的状态下，使模具与压印材料接触。
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