[发明专利]一种太阳能金刚线电池背腐蚀工艺

摘要

本发明揭示了一种太阳能金刚线电池背腐蚀工艺，该工艺包括以下步骤：S1：初步配置背腐蚀溶液；选择刻蚀槽，在刻蚀槽中初步配置背腐蚀溶液，S2：添加制绒添加剂；向S1步骤中配制的背腐蚀溶液中加入制绒添加剂，S3：放置硅片；向S2步骤中配置好的背腐蚀溶液中放入硅片；S4：采用链式滚轮槽体，让扩散后硅片带有PN结的那一面朝上，只对非PN结面及四边腐蚀，在液位上漂浮滑行过刻蚀槽；S5：背腐蚀溶液温度为5～15度，经过刻蚀槽的时间为1.5～2m/min。本发明通过添加制绒添加剂，优化了背腐蚀工艺，降低了反射率，形成了优质的绒面结构，增加电池对光的利用率，提高电池的转换效率。

主权项

一种太阳能金刚线电池背腐蚀工艺，其特征在于：该工艺包括以下步骤：S1：初步配置背腐蚀溶液；选择刻蚀槽，在刻蚀槽中初步配置背腐蚀溶液，背腐蚀溶液包括硝酸、氢氟酸、硫酸和水的混合液，所述硝酸、氢氟酸、硫酸和水的溶液体积比为265L：24L：70L：80L；S2：添加制绒添加剂；向S1步骤中配制的背腐蚀溶液中加入制绒添加剂，该制绒添加剂的体积比为1～1.5L；S3：放置硅片 ；向S2步骤中配置好的背腐蚀溶液中放入硅片；S4：采用链式滚轮槽体，让扩散后硅片带有PN结的那一面朝上，只对非PN结面及四边腐蚀，在液位上漂浮滑行过刻蚀槽；S5：背腐蚀溶液温度为5～15度，去除厚度为1～1.6um，经过刻蚀槽的时间为1.5～2m/min；S6：刻蚀后的硅片依次通过水洗、碱洗、酸洗、水洗后最后吹干。