[发明专利]一种聚碳酸酯作为电子束光刻胶材料的应用有效
| 申请号： | 201711248838.2 | 申请日： | 2017-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN107991842B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 伍广朋;陆新宇;张瑶瑶;王凯;张若禹;戴雅浩 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;G03F7/004;G03F7/32 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人： | 陈华 |
| 地址： | 310013 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种聚碳酸酯作为电子束光刻胶材料的应用，所述聚碳酸酯是由二氧化碳和至少一种环氧烷烃通过交替共聚形成。本发明开创性地将二氧化碳基聚碳酸酯应用于半导体加工领域，该聚碳酸酯具有高灵敏度、较高的分辨率和对比度的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 聚碳酸酯 作为 电子束光刻 材料 应用 | ||
【主权项】：
一种聚碳酸酯作为电子束光刻胶材料的应用，其特征在于，所述聚碳酸酯是由二氧化碳和至少一种环氧烷烃通过交替共聚形成。
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