[发明专利]焦平面阵列探测器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种焦平面阵列探测器及其制备方法，包括外延层，外延层的下表面设置有多个凹陷的第一掺杂区，外延层与第一掺杂区的交界面为第一PN结，相邻的第一PN结之间开设有像元孔；外延层的下表面覆盖有第一钝化膜，位于第一掺杂区表面的第一钝化膜开设有第一接触孔，位于像元孔表面的第一钝化膜的正中间开设有第二接触孔；第一接触孔与第二接触孔内分别填充有第一铟凸点与第二铟凸点，第一铟凸点与第二铟凸点突出外延层；外延层的上表面设置有多个凹陷的第二掺杂区，第二掺杂区与第二铟凸点一一对应连接。本发明目的在于解决相邻像元的PN结容易串音、像元的有效利用面积小的技术问题。

主权项

1.一种焦平面阵列探测器，包括外延层(2)，所述外延层(2)的下表面设置有多个凹陷的第一掺杂区(31)，所述外延层(2)与所述第一掺杂区(31)的交界面为第一PN结，其特征在于，相邻的所述第一PN结之间开设有像元孔(4)；所述外延层(2)的下表面覆盖有第一钝化膜(61)，位于所述第一掺杂区(31)表面的第一钝化膜(61)开设有第一接触孔(10)，位于所述像元孔(4)表面的第一钝化膜(61)的正中间开设有第二接触孔(11)；所述第一接触孔(10)与所述第二接触孔(11)内分别填充有第一铟凸点(71)与第二铟凸点(72)，所述第一铟凸点(71)与所述第二铟凸点(72)突出所述外延层(2)；所述外延层(2)的上表面设置有多个凹陷的第二掺杂区(32)，所述第二掺杂区(32)与所述第二铟凸点(72)一一对应连接，所述外延层(2)与所述第二掺杂区(32)的交界面为第二PN结。