[发明专利]压力传感器校准装置及方法有效
| 申请号： | 201711236946.8 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108120552B | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | M·H·M·纳加尔;I·O·维根 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 徐东升;王爽 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开了用于校准微机电系统的方法和装置。压力传感器校准装置(100)包括：第一压力传感器(104)设置在其中的压力室(110)；一个或多个第一传感器(112)，其用于测量来自所执行的物理测试的第一压力传感器的第一电容值；该一个或多个第一传感器用于测量来自对第一压力传感器执行的第一电气测试的第二电容值；以及相关器(118)，其用来基于在对第一压力传感器的物理测试期间确定的第一电容值以及在对第一压力传感器的第一电气测试期间确定的第二电容值来确定相关系数值；以及校准器(314)，其用来基于相关系数值以及在对第二压力传感器(304)进行第二电气测试期间确定的第三电容值来确定校准系数值以便校准第二压力传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 校准 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种压力传感器校准装置，其包括：相关器，其用来基于在对第一压力传感器的物理测试期间确定的第一电容值以及在对所述第一压力传感器的第一电气测试期间确定的第二电容值来确定相关系数值，所述物理测试包括将所述第一压力传感器暴露于第一压力以及基于施加的所述第一压力来确定所述第一电容值，所述第一电气测试包括将所述第一压力传感器暴露于第一电压以及基于施加的所述第一电压来确定所述第二电容值；以及校准器，其用来基于所述相关系数值以及在对第二压力传感器的第二电气测试期间确定的第三电容值来确定校准系数值以便校准所述第二压力传感器，所述第二电气测试包括将所述第二压力传感器暴露于第二电压以及基于施加的所述第二电压来确定所述第三电容值。
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