[发明专利]一种太阳能电池的石墨舟饱和工艺

摘要

本发明公开了一种太阳能电池的石墨舟饱和工艺，其工艺步骤包括去除氮化硅层、漂洗、烘干、组装、饱和石墨舟、再次饱和石墨舟和镀膜。该太阳能电池的石墨舟饱和工艺，通过安装卡点保护组件从而达到保护石墨舟卡，先对石墨舟片进行长时间氮化硅层饱和，再将卡点保护组件进行拆除后的二次镀舟饱和，使用两种饱和方式结合充分对石墨舟片进行了饱和，又避免了在长时间饱和过程中卡点部分氮化硅镀膜对电池片颜色的影响，使硅片镀膜颜色更加均匀单片无色差产生，镀膜颜色一致性提高，从而大大提高了成品电池的合格率。

主权项

1.一种太阳能电池的石墨舟饱和工艺，包括去除氮化硅层、漂洗、烘干、组装、饱和、拆装、再饱和和镀膜，其特征在于：工艺步骤如下：S1、去除氮化硅层：使用5%-20%氢氟酸溶液去除石墨舟片所镀氮化硅层；S2、漂洗：使用纯水对石墨舟片进行漂洗，漂洗4次每次2小时；S3、烘干：用烘箱对石墨舟片进行烘干，烘干温度80-120度；S4、组装：组装石墨舟并安装卡点保护组件，把陶瓷卡点保护组件内径套住石墨舟卡点，按照这种方法保护所有石墨卡点，陶瓷套管用来避免石墨卡点周圈被镀上氮化硅膜；S5、饱和：饱和石墨舟,使用PECVD对石墨舟进行镀舟饱和，所用饱和气体是氨气和硅烷；S6、拆装：拆除卡点保护组件并完成舟整体安装与检查；S7、再饱和：再次饱主要是对石墨卡点进行饱和，所用饱和气体是氨气和硅烷；S8、镀膜：正常进行镀膜工艺。