[发明专利]一种基于图案化裁剪技术实现亚波长分辨的方法有效

专利信息
申请号: 201711211040.0 申请日: 2017-11-28
公开(公告)号: CN108037508B 公开(公告)日: 2019-09-06
发明(设计)人: 臧剑锋;唐瀚川;祝雪丰;叶镭;喻研 申请(专利权)人: 华中科技大学
主分类号: G01S15/89 分类号: G01S15/89;G01S7/52
代理公司: 华中科技大学专利中心 42201 代理人: 廖盈春;李智
地址: 430074 湖北*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种基于图案化裁剪技术实现亚波长分辨的方法,包括:确定相位调控薄膜,所述相位调控薄膜能够将其透射的声波的相位改变180度;对相位调控薄膜进行裁剪,将所述相位调控薄膜裁剪成潘洛斯晶格的准周期图案,使得经过所述裁剪的相位调控薄膜后的声波形成超振荡现象,从而产生亚波长的焦斑。本发明实现了远场的声波亚波长分辨,所得到亚波长焦斑半高全宽约为0.25倍波长,意味着在长度分辨率提高一倍,而从整个面积上看,成像精度极限可以为常规手段的4倍。
搜索关键词: 一种 基于 图案 裁剪 技术 实现 波长 分辨 方法
【主权项】:
1.一种基于图案化裁剪技术实现亚波长分辨的方法,其特征在于,包括:确定相位调控薄膜,所述相位调控薄膜能够将其透射的声波的相位改变180度;对所述相位调控薄膜进行裁剪,将所述相位调控薄膜裁剪成潘洛斯晶格的准周期图案,使得经过所述裁剪的相位调控薄膜后的声波形成超振荡现象,从而产生亚波长的焦斑;所述潘洛斯晶格的准周期图案由两种菱形拼成,所述两种菱形的锐角分别为36度和72度,所述两种菱形拼成类似于五边形的准周期图案铺满所述相位调控薄膜平面,裁剪出的圆孔位于两种菱形的顶点上。
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